Ushbu mahsulotning asosiy qo'llanilishi uning ultrasof CVD prekursori sifatida bevosita qo'llanilishidir.
Mikroprotsessorlar va xotira chiplarini ishlab chiqarish niobiy pentakloriddan tayyorlangan maxsus CVD prekursorlarini talab qiladi "Eng yuqori tozalik".
Energiyani tejovchi halogen lampalar niobiy pentakloriddan tayyorlangan issiqlikni aks ettiruvchi qatlamga ega.
Ko'p qatlamli keramik kondansatörler (MLCC) ishlab chiqarishda niobiy pentaklorid kukun dizaynini optimallashtirish uchun yordam beradi.
Shu maqsadda ishlatiladigan sol-gel jarayoni kimyoviy chidamli optik qoplamalar ishlab chiqarishda ham qo'llaniladi.
niobiy pentaklorid katalitik dasturlarda qo'llaniladi.
