Bu ürünün ana uygulaması, ultra saf CVD öncüsü olarak doğrudan kullanılmasıdır.
Mikroişlemcilerin ve bellek yongalarının üretimi, niyobyum pentaklorür "En Yüksek Saflıkta" yapılan özel CVD öncülerini gerektirir.
Enerji tasarruflu halojen lambalar, niyobyum pentaklorürden yapılmış ısıyı yansıtan bir katmana sahiptir.
Çok katmanlı seramik kapasitörlerin (MLCC'ler) üretiminde niyobyum pentaklorür, toz tasarımı optimizasyonu için destek sağlar.
Bu amaçla kullanılan sol-gel prosesi kimyasallara dayanıklı optik kaplamaların üretiminde de uygulanmaktadır.
niyobyum pentaklorür katalitik uygulamalarda kullanılır.