Bu ürün için ana uygulama, ultra akışlı bir CVD öncüsü olarak doğrudan kullanımıdır.
Mikroişlemciler ve bellek yongaları üretimi, niyobyum pentaklorürden "en yüksek saflıktan" yapılmış özel CVD öncüleri gerektirir.
Enerji tasarrufu sağlayan halojen lambalar, niyobyum pentaklorürden yapılmış bir ısıyı yansıtan bir tabakaya sahiptir.
Çok katmanlı seramik kapasitörlerin (MLCC'ler) üretiminde, niyobyum pentaklorür toz tasarım optimizasyonu için destek sağlar.
Bu amaç için kullanılan sol-jel işlemi, kimyasal olarak dirençli optik kaplamaların üretiminde de uygulanır.
Niyobyum pentaklorür katalitik uygulamalarda kullanılır.
