இந்த தயாரிப்புக்கான முக்கிய பயன்பாடானது, அல்ட்ராபூர் சிவிடி முன்னோடியாக நேரடியாகப் பயன்படுத்துவதாகும்.
நுண்செயலிகள் மற்றும் நினைவக சில்லுகளின் உற்பத்திக்கு நியோபியம் பென்டாக்ளோரைடு "உயர்ந்த தூய்மை" மூலம் செய்யப்பட்ட சிறப்பு CVD முன்னோடிகள் தேவைப்படுகின்றன.
ஆற்றல் சேமிப்பு ஆலசன் விளக்குகள் நியோபியம் பென்டாக்ளோரைடால் செய்யப்பட்ட வெப்பத்தை பிரதிபலிக்கும் அடுக்கைக் கொண்டுள்ளன.
பல அடுக்கு செராமிக் மின்தேக்கிகள் (எம்எல்சிசி) உற்பத்தியில், நியோபியம் பென்டாக்ளோரைடு தூள் வடிவமைப்பு மேம்படுத்தலுக்கான ஆதரவை வழங்குகிறது.
இந்த நோக்கத்திற்காக பயன்படுத்தப்படும் சோல்-ஜெல் செயல்முறை வேதியியல் ரீதியாக எதிர்க்கும் ஒளியியல் பூச்சுகளின் உற்பத்தியிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
niobium pentachloride வினையூக்கி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.