Huvudapplikationen för denna produkt är dess direkta användning som en ultraren CVD-prekursor.
Tillverkningen av mikroprocessorer och minneschip kräver speciella CVD-prekursorer gjorda av niobpentaklorid "Highest Purity".
Energisparande halogenlampor har ett värmereflekterande skikt av niobpentaklorid.
Vid tillverkning av flerskiktskeramiska kondensatorer (MLCC) ger niobpentaklorid stöd för optimering av pulverdesign.
Sol-gel-processen som används för detta ändamål används också vid framställning av kemiskt resistenta optiska beläggningar.
niobpentaklorid används i katalytiska tillämpningar.