Итријум флуорид се широко примењује у металургији, керамици, стаклу и електроници.
Високи степен чистоће су најважнији материјали за тропојасни фосфор ретких земаља и , који су веома ефикасни микроталасни филтери.
Итријум флуорид се такође може користити за производњу металног итријума, танких филмова, стакла и керамике.
Итријум се користи у производњи великог броја синтетичких граната, а итријум се користи за прављење итријумских гвоздених граната, који су веома ефикасни филтери за микроталасне пећнице.