Glavna uporaba tega izdelka je njegova neposredna uporaba kot ultra čistega prekurzorja KVB.
Proizvodnja mikroprocesorjev in pomnilniških čipov zahteva posebne prekurzorje CVD iz niobijevega pentaklorida "najvišje čistosti".
Energijsko varčne halogenske žarnice imajo toplotno odbijajočo plast iz niobijevega pentaklorida.
Pri proizvodnji večplastnih keramičnih kondenzatorjev (MLCC) niobijev pentaklorid zagotavlja podporo za optimizacijo zasnove prahu.
Sol-gel postopek, ki se uporablja v ta namen, se uporablja tudi pri izdelavi kemično odpornih optičnih prevlek.
niobijev pentaklorid se uporablja v katalitičnih aplikacijah.