Principala aplicație a acestui produs este utilizarea sa directă ca precursor ultrapur al CVD.
Producția de microprocesoare și cipuri de memorie necesită precursori speciali CVD fabricați din pentaclorură de niobiu „Cea mai înaltă puritate”.
Lămpile cu halogen cu economie de energie au un strat care reflectă căldura din pentaclorură de niobiu.
În producția de condensatoare ceramice multistrat (MLCC), pentaclorura de niobiu oferă suport pentru optimizarea designului pulberii.
Procedeul sol-gel utilizat în acest scop este aplicat și în producția de acoperiri optice rezistente chimic.
pentaclorura de niobiu este utilizată în aplicații catalitice.