De belangrijkste toepassing voor dit product is het directe gebruik als een Ultrapure CVD -voorloper.
De productie van microprocessors en geheugenchips vereist speciale CVD -voorlopers gemaakt van niobium pentachloride "hoogste zuiverheid".
Energiebesparende halogeenlampen hebben een warmte -reflecterende laag gemaakt van niobium pentachloride.
Bij de productie van meerlagige keramische condensatoren (MLCC's) biedt niobium pentachloride ondersteuning voor optimalisatie van poederontwerp.
Het voor dit doel gebruikte sol-gelproces wordt ook toegepast bij de productie van chemisch resistente optische coatings.
Niobium pentachloride wordt gebruikt in katalytische toepassingen.
