De belangrijkste toepassing voor dit product is het directe gebruik ervan als ultrazuivere CVD-voorloper.
De productie van microprocessors en geheugenchips vereist speciale CVD-voorlopers gemaakt van niobiumpentachloride "Highest Purity".
Energiebesparende halogeenlampen zijn voorzien van een warmtereflecterende laag van niobiumpentachloride.
Bij de productie van meerlaagse keramische condensatoren (MLCC's) biedt niobiumpentachloride ondersteuning voor de optimalisatie van poederontwerp.
Het hiervoor gebruikte sol-gel-proces wordt ook toegepast bij de productie van chemisch resistente optische coatings.
niobiumpentachloride wordt gebruikt in katalytische toepassingen.