यस उत्पादनको लागि मुख्य अनुप्रयोग अल्ट्राप्योर CVD अग्रसरको रूपमा यसको प्रत्यक्ष प्रयोग हो।
माइक्रोप्रोसेसरहरू र मेमोरी चिपहरूको उत्पादनलाई निओबियम पेन्टाक्लोराइड "उच्च शुद्धता" बाट बनाइएको विशेष CVD पूर्ववर्तीहरू चाहिन्छ।
उर्जा बचत गर्ने हलोजन बत्तीहरूले निओबियम पेन्टाक्लोराइडबाट बनेको ताप प्रतिबिम्बित तहको सुविधा दिन्छ।
मल्टिलेयर सिरेमिक क्यापेसिटर (MLCCs) को उत्पादनमा, निओबियम पेन्टाक्लोराइडले पाउडर डिजाइन अप्टिमाइजेसनको लागि समर्थन प्रदान गर्दछ।
यस उद्देश्यका लागि प्रयोग गरिएको सोल-जेल प्रक्रिया रासायनिक प्रतिरोधी अप्टिकल कोटिंग्सको उत्पादनमा पनि लागू हुन्छ।
niobium pentachloride उत्प्रेरक अनुप्रयोगहरूमा प्रयोग गरिन्छ।