Aplikasi utama untuk produk ini adalah penggunaan langsungnya sebagai prekursor CVD ultratulen.
Pengeluaran mikropemproses dan cip memori memerlukan prekursor CVD khas yang diperbuat daripada niobium pentaklorida "Ketulenan Tertinggi".
Lampu halogen penjimatan tenaga mempunyai lapisan pemantul haba yang diperbuat daripada niobium pentaklorida.
Dalam pengeluaran kapasitor seramik berbilang lapis (MLCC), niobium pentaklorida menyediakan sokongan untuk pengoptimuman reka bentuk serbuk.
Proses sol-gel yang digunakan untuk tujuan ini juga digunakan dalam penghasilan salutan optik tahan kimia.
niobium pentaklorida digunakan dalam aplikasi pemangkin.