Permohonan utama untuk produk ini adalah penggunaan langsung sebagai prekursor CVD ultrapure.
Pengeluaran mikropemproses dan cip memori memerlukan prekursor CVD khas yang diperbuat daripada niobium pentachloride "kesucian tertinggi".
Lampu halogen penjimatan tenaga mempunyai lapisan yang mencerminkan haba yang diperbuat daripada niobium pentachloride.
Dalam pengeluaran kapasitor seramik multilayered (MLCCS), niobium pentachloride menyediakan sokongan untuk pengoptimuman reka bentuk serbuk.
Proses sol-gel yang digunakan untuk tujuan ini juga digunakan dalam pengeluaran salutan optik yang tahan kimia.
Niobium pentachloride digunakan dalam aplikasi pemangkin.