Энэ бүтээгдэхүүний гол хэрэглээ нь түүнийг хэт цэвэр ЗСӨ-ний урьдал бодис болгон шууд ашиглах явдал юм.
Микропроцессор болон санах ойн чип үйлдвэрлэхэд ниобий пентахлорид "Хамгийн өндөр цэвэршилттэй" тусгай ЗСӨ-ийн прекурсорууд шаардлагатай.
Эрчим хүчний хэмнэлттэй галоген чийдэн нь ниобий пентахлоридоор хийсэн дулаан тусгах давхаргатай.
Олон давхаргат керамик конденсатор (MLCCs) үйлдвэрлэхэд ниобий пентахлорид нь нунтаг дизайныг оновчтой болгоход дэмжлэг үзүүлдэг.
Энэ зорилгоор ашигласан sol-gel процессыг химийн тэсвэртэй оптик бүрээс үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
ниобий пентахлорид нь катализаторын хэрэглээнд ашиглагддаг.
