Главната примена на овој производ е неговата директна употреба како ултрачист прекурсор на CVD.
Производството на микропроцесори и мемориски чипови бара специјални CVD прекурсори направени од ниобиум пентахлорид „Highest Purity“.
Халогените светилки за заштеда на енергија имаат слој што ја рефлектира топлината направен од ниобиум пентахлорид.
Во производството на повеќеслојни керамички кондензатори (MLCC), ниобиум пентахлорид обезбедува поддршка за оптимизација на дизајнот на прав.
Процесот на сол-гел што се користи за оваа намена се применува и во производството на хемиски отпорни оптички премази.
ниобиум пентахлорид се користи во каталитички апликации.
