Главната апликација за овој производ е нејзината директна употреба како претходник на ултрапсура CVD.
Производството на микропроцесори и мемориски чипови бара специјални прекурсори на CVD направени од ниобиум пентахлорид „највисока чистота“.
Заштеда на енергија за заштеда на енергија, халогенски ламби имаат слој што рефлектира топлина, изработен од ниобиум пентахлорид.
Во производството на повеќеслојни керамички кондензатори (MLCC), ниобиум пентахлорид обезбедува поддршка за оптимизација на дизајнот на прав.
Процесот на сол-гел што се користи за оваа намена се применува и во производството на хемиски отпорни оптички облоги.
Ниобиум пентахлорид се користи во каталитички апликации.
