Itrija fluorīds tiek plaši izmantots metalurģijā, keramikā, stiklā un elektronikā.
Augstas tīrības pakāpes ir vissvarīgākie materiāli trīsjoslu retzemju fosforiem un , kas ir ļoti efektīvi mikroviļņu filtri.
Itrija fluorīdu var izmantot arī metāliskā itrija, plānu plēvju, stiklu un keramikas ražošanai.
Itriju izmanto dažādu sintētisko granātu ražošanā, un itriju izmanto itrija dzelzs granātu ražošanai, kas ir ļoti efektīvi mikroviļņu filtri.