ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍສໍາລັບຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນການນໍາໃຊ້ໂດຍກົງຂອງຕົນເປັນ ultrapure CVD ຄາຣະວາ.
ການຜະລິດ microprocessors ແລະຊິບຫນ່ວຍຄວາມຈໍາຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄາຣະວາ CVD ພິເສດທີ່ຜະລິດຈາກ niobium pentachloride "ຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ".
ໂຄມໄຟຮາໂລເຈນທີ່ປະຫຍັດພະລັງງານມີຊັ້ນສະທ້ອນຄວາມຮ້ອນທີ່ເຮັດດ້ວຍ niobium pentachloride.
ໃນການຜະລິດຕົວເກັບປະຈຸເຊລາມິກຫຼາຍຊັ້ນ (MLCCs), niobium pentachloride ສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງການອອກແບບຜົງ.
ຂະບວນການ sol-gel ທີ່ໃຊ້ສໍາລັບຈຸດປະສົງນີ້ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດການເຄືອບ optical ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ.
niobium pentachloride ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ catalytic.