Бул продукт үчүн негизги колдонмо өтө таза CVD прекурсор катары аны түздөн-түз колдонуу болуп саналат.
Микропроцессорлорду жана эстутум микросхемаларын өндүрүү үчүн ниобий пентахлоридинен жасалган атайын CVD прекурсорлору "Жогорку тазалык" талап кылынат.
Энергияны үнөмдөөчү галоген лампалары ниобий пентахлоридинен жасалган жылуулукту чагылдыруучу катмарга ээ.
Көп катмарлуу керамикалык конденсаторлорду (MLCCs) өндүрүүдө ниобий пентахлориди порошок дизайнын оптималдаштырууга колдоо көрсөтөт.
Бул максатта колдонулган соль-гель процесси химиялык жактан туруктуу оптикалык каптоолорду өндүрүүдө да колдонулат.
ниобий пентахлориди каталитикалык колдонмолордо колдонулат.
