កម្មវិធីសំខាន់សម្រាប់ផលិតផលនេះគឺការប្រើប្រាស់ដោយផ្ទាល់របស់វាជា CVD ជាមុន។
ការផលិត microprocessors និង memory chips ត្រូវការ CVD ពិសេសដែលផលិតពី niobium pentachloride "Highest Purity" ។
ចង្កៀង halogen សន្សំថាមពលមានស្រទាប់ឆ្លុះបញ្ចាំងកំដៅដែលធ្វើពី niobium pentachloride ។
នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍ផ្ទុកសេរ៉ាមិចពហុស្រទាប់ (MLCCs) niobium pentachloride ផ្តល់នូវការគាំទ្រសម្រាប់ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការរចនាម្សៅ។
ដំណើរការ Sol-gel ដែលប្រើសម្រាប់គោលបំណងនេះក៏ត្រូវបានអនុវត្តផងដែរក្នុងការផលិតថ្នាំកូតអុបទិកដែលធន់នឹងសារធាតុគីមី។
niobium pentachloride ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងកម្មវិធីកាតាលីករ។