ამ პროდუქტის მთავარი პროგრამა არის მისი უშუალო გამოყენება, როგორც ულტრაბგერითი CVD წინამორბედი.
მიკროპროცესორებისა და მეხსიერების ჩიპების წარმოება მოითხოვს სპეციალურ CVD წინამორბედებს, რომლებიც დამზადებულია ნიობიუმის პენტაქლორიდისგან "უმაღლესი სიწმინდის "გან.
ენერგიის დაზოგვის ჰალოგენური ნათურები გააჩნია Niobium pentachloride- ისგან დამზადებულ სითბოს ამრეკლავ ფენას.
მრავალმხრივი კერამიკული კონდენსატორების (MLCCs) წარმოებისას, ნიობიუმ პენტაქლორიდი უზრუნველყოფს ფხვნილის დიზაინის ოპტიმიზაციას.
ამ მიზნით გამოყენებული სოლ-გელის პროცესი ასევე გამოიყენება ქიმიურად რეზისტენტული ოპტიკური საიზოლაციო მასალების წარმოებაში.
ნიობიუმის პენტაქლორიდი გამოიყენება კატალიზურ პროგრამებში.
