L'applicazione principale di questo prodotto è il suo utilizzo diretto come precursore CVD ultrapuro.
La produzione di microprocessori e chip di memoria richiede speciali precursori CVD realizzati con pentacloruro di niobio "Highest Purity".
Le lampade alogene a risparmio energetico sono dotate di uno strato termoriflettente in pentacloruro di niobio.
Nella produzione di condensatori ceramici multistrato (MLCC), il pentacloruro di niobio fornisce supporto per l'ottimizzazione della progettazione delle polveri.
Il processo sol-gel utilizzato a questo scopo trova applicazione anche nella produzione di rivestimenti ottici chimicamente resistenti.
il pentacloruro di niobio viene utilizzato nelle applicazioni catalitiche.