Ennek a terméknek a fő alkalmazása az ultrapure CVD prekurzor közvetlen felhasználása.
A mikroprocesszorok és a memória chipek előállítása speciális CVD prekurzorokat igényel, amelyek niobium -pentakloridból készülnek a "legmagasabb tisztaság".
Az energiamegtakarító halogén lámpák niobium -pentakloridból készült hővisszaverő réteget tartalmaznak.
A többrétegű kerámia kondenzátorok (MLCC) előállításában a niobium -pentaklorid támogatja a por tervezését.
Az erre a célra alkalmazott SOL-GEL eljárást kémiailag rezisztens optikai bevonatok előállítására is alkalmazzák.
A niobium -pentakloridot katalitikus alkalmazásokban használják.