A principal aplicación deste produto é o seu uso directo como precursor ultrapuro de CVD.
A produción de microprocesadores e chips de memoria require precursores especiais de CVD feitos de pentacloruro de niobio "Highest Purity".
As lámpadas halóxenas de aforro enerxético teñen unha capa reflectora de calor feita de pentacloruro de niobio.
Na produción de capacitores cerámicos multicapa (MLCC), o pentacloruro de niobio ofrece soporte para a optimización do deseño en po.
O proceso sol-xel utilizado para este fin tamén se aplica na produción de revestimentos ópticos resistentes químicamente.
O pentacloruro de niobio úsase en aplicacións catalíticas.
