Tämän tuotteen pääsovellus on sen suora käyttö erittäin puhtaana CVD-prekursorina.
Mikroprosessorien ja muistisirujen tuotanto vaatii erityisiä CVD-prekursoreita, jotka on valmistettu "korkeimman puhtauden" niobiumpentakloridista.
Energiaa säästävissä halogeenilampuissa on lämpöä heijastava kerros, joka on valmistettu niobiumpentakloridista.
Monikerroksisten keraamisten kondensaattorien (MLCC) tuotannossa niobiumpentakloridi tukee jauhesuunnittelun optimointia.
Tähän käytettävää sooli-geeliprosessia käytetään myös kemiallisesti kestävien optisten pinnoitteiden valmistuksessa.
niobiumpentakloridia käytetään katalyyttisissä sovelluksissa.