کاربرد اصلی این محصول استفاده مستقیم از آن به عنوان یک پیش ساز فوق خالص CVD است.
تولید ریزپردازنده ها و تراشه های حافظه به پیش سازهای ویژه CVD ساخته شده از نیوبیم پنتاکلراید "Highest Purity" نیاز دارد.
لامپ های هالوژن کم مصرف دارای یک لایه بازتابنده گرما هستند که از نیوبیم پنتاکلرید ساخته شده است.
در تولید خازن های سرامیکی چندلایه (MLCC)، پنتاکلراید نیوبیم پشتیبانی از بهینه سازی طراحی پودر را فراهم می کند.
فرآیند سل-ژل مورد استفاده برای این منظور نیز در تولید پوشش های نوری مقاوم در برابر شیمیایی استفاده می شود.
نیوبیم پنتاکلرید در کاربردهای کاتالیزوری استفاده می شود.
