برنامه اصلی این محصول استفاده مستقیم آن به عنوان پیشرو CVD Ultrapure است.
تولید ریزپردازنده ها و تراشه های حافظه نیاز به پیش سازهای ویژه CVD است که از "بالاترین خلوص" نیوبیوم ساخته شده است.
لامپ های هالوژن صرفه جویی در انرژی دارای لایه ای از گرما است که از نیوبیوم پنتاکلرید ساخته شده است.
در تولید خازن های سرامیکی چند لایه (MLCCS) ، Niobium Pentachloride پشتیبانی از بهینه سازی طراحی پودر را فراهم می کند.
فرآیند ژل SOL که برای این منظور مورد استفاده قرار می گیرد نیز در تولید پوشش های نوری مقاوم در برابر شیمیایی اعمال می شود.
نیوبیوم پنتاکلرید در کاربردهای کاتالیزوری استفاده می شود.