Die Hauptanwendung dieses Produkts ist seine direkte Verwendung als hochreiner CVD-Vorläufer.
Für die Herstellung von Mikroprozessoren und Speicherchips werden spezielle CVD-Vorläufer aus Niobpentachlorid „Highest Purity“ benötigt.
Energiesparende Halogenlampen verfügen über eine wärmereflektierende Schicht aus Niobpentachlorid.
Bei der Herstellung von mehrschichtigen Keramikkondensatoren (MLCCs) unterstützt Niobpentachlorid die Optimierung des Pulverdesigns.
Das hierfür eingesetzte Sol-Gel-Verfahren wird auch bei der Herstellung chemisch beständiger optischer Beschichtungen eingesetzt.
Niobpentachlorid wird in katalytischen Anwendungen verwendet.