Bu məhsulun əsas tətbiqi onun ultratəmiz CVD prekursoru kimi birbaşa istifadəsidir.
Mikroprosessorların və yaddaş çiplərinin istehsalı üçün "Ən yüksək təmizlik" niobium pentakloridindən hazırlanmış xüsusi CVD prekursorları tələb olunur.
Enerjiyə qənaət edən halogen lampalar niobium pentakloriddən hazırlanmış istilik əks etdirən təbəqəyə malikdir.
Çox qatlı keramika kondansatörlərinin (MLCC) istehsalında niobium pentaklorid toz dizaynının optimallaşdırılmasına dəstək verir.
Bu məqsədlə istifadə edilən sol-gel prosesi kimyəvi cəhətdən davamlı optik örtüklərin istehsalında da tətbiq edilir.
niobium pentaklorid katalitik tətbiqlərdə istifadə olunur.