التطبيق الرئيسي لهذا المنتج هو استخدامه المباشر كسلائف CVD Ultrapure.
يتطلب إنتاج المعالجات الدقيقة ورقائق الذاكرة سلائف خاصة من CVD مصنوعة من Pentachloride النيوبيوم "أعلى نقاء".
تتميز مصابيح الهالوجين الموفرة للطاقة طبقة تعكس بالحرارة المصنوعة من البنتاك كلوريد النيوبيوم.
في إنتاج المكثفات الخزفية متعددة الطبقات (MLCCS) ، يوفر Niobium Pentachloride دعمًا لتحسين تصميم المسحوق.
يتم تطبيق عملية SOL-GEL المستخدمة لهذا الغرض أيضًا في إنتاج الطلاء البصري المقاوم كيميائيًا.
يستخدم Niobium Pentachloride في التطبيقات الحفزية.